发明名称 A method of filling shallow trenches
摘要
申请公布号 EP0872885(A3) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 EP19980301844 申请日期 1998.03.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 FIEGL, BERNHARD;GLASHAUSER, WALTER;LEVY, MAX G.;NASTASI, VICTOR R,
分类号 H01L21/76;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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