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发明名称 APPARATUS FOR GROWING CRYSTAL AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0585887(A) 申请公布日期 1993.04.06
申请号 JP19910282127 申请日期 1991.09.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MITSUI KOTARO
分类号 C30B19/06;C30B29/46;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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