糊状物分配器以及用于以均匀的图案分配定量糊状物的方法

摘要

本发明提供了一种用于在基板上以均匀图案分配定量糊状物的方法，包括：设置被依次选择的参数组，每个组包括图案参考数量以及应用于图案参考数量的糊状物分配参数；根据应用的糊状物分配参数来分配定量的糊状物；以及当达到属于当前参数组的图案参考数量时，应用属于下一参数组的糊状物分配参数，并且根据属于下一参数组的糊状物分配参数来分配定量的糊状物。本发明提供的优点在于，其通过根据注射器中剩余糊状物的多少来向注射器施加不同的气压，从而在基板上以给定的图案分配定量糊状物。

主权项

1.一种用于在基板上以均匀的图案分配定量糊状物的方法，所述方法包括：设置被依次选择的参数组，每个组包括图案参考数量以及应用于所述图案参考数量的糊状物分配参数；根据施加的所述糊状物分配参数来分配定量的糊状物；以及当达到属于当前参数组的所述图案参考数量时，应用属于下一参数组的糊状物分配参数，并且根据属于所述下一参数组的所述糊状物分配参数来分配所述定量的糊状物。