发明名称
摘要
申请公布号 JP4419383(B2) 申请公布日期 2010.02.24
申请号 JP20020345355 申请日期 2002.11.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/76;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/40 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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