| 摘要 |
転動体転走路と転動体との間で発生した微粒子が装置外に漏れ出る量を極力抑制できる、半導体製造装置や液晶表示パネル製造装置等のクリーン環境に好適な直動装置を提供する。直動装置（１）において、１対のシール部材（７）の各々は、移動部材（３）に取り付けられた状態で、軌道部材（２）の軸方向に対して直交する方向に沿って切断した際に、軌道部材（２）に対して０．０２５〜０．１５ｍｍの範囲の隙間（δ）を有する形状に形成され、転動体転走路（５）と転動体（４）との間には混和ちょう度１７５以上２５０以下のグリースが塗布してある。 |
