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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0637045(A) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 JP19920185539 申请日期 1992.07.13
申请人 PLASMA SYST:KK 发明人 TAKAYAMA MASAHIRO
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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