倾斜空腔半导体激光器及其制造方法

摘要

一种新颖的半导体激光器类型，或叫“倾斜空腔激光器”，包括至少一个具有有源区的有源单元，该有源区通过注入电流及反射镜，产生光增益。该有源单元放在空腔内。该空腔的设计，能使谐振光学模的光路，既对垂直方向倾斜，也对横向平面倾斜。因此，为该谐振光学模提供了垂直方向及横向方向两个方向上的反馈。与具体的实施例有关，该激光器既可作为表面发射激光器工作，也可作为边缘发射激光器工作。采用倾斜光学模，能在底部和顶部干涉反射器中，比常规激光器使用显著少得多的层。这样可以维持必需的高的反射系数。还实现一种边缘发射的波长稳定激光器。该波长稳定性，是由于色散定律对不同折射率各层中的倾斜光学模的差别。

主权项

1.一种半导体激光器，包括：a)底部反射器；b)顶部反射器；和c)位于底部反射器及顶部反射器之间的空腔，该空腔包括位于空腔内的有源区，其中该空腔及有源区的设计，能使空腔内光的传播方向，既倾斜于横向平面法线，也相对于该横向平面本身倾斜。