聚合物及包括该聚合物之光阻剂

摘要

提供新颖聚合物，其具有非碳四价物种(矽、钛、锗、锆、锡)以及提供含有此种聚合物之光可成像组成物。较佳聚合物为有机聚合物，例如一或多个聚合物重复单位包含碳原子。特佳为包含二氧化矽或二氧化钛重复单位之聚合物，该聚合物高度有用于作为于如次300奈米及次200奈米之短波长成像之光阻剂之树脂成分。

主权项

一种正向作用光可成像组成物，包含光活性成分以及聚合物成分，该聚合物成分包含具有下式重复单位之聚合物：其中R为氢或非氢取代基，但至少一个R包含碳原子，以及该聚合物包含光酸不稳定基或氟化醇基；m为聚合物重复单位总数之2至95%；以及n为聚合物重复单位总数之2至95%。