| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen und Verschließen eines Hohlraums für Mikrobauelemente oder Mikrosysteme und entsprechendes Mikrobauelement |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10022266(B4) |
申请公布日期 |
2005.02.24 |
| 申请号 |
DE20001022266 |
申请日期 |
2000.05.08 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MAIER-SCHNEIDER, DIETER;WINKLER, BERNHARD |
| 分类号 |
B81B7/00;B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00;B81B3/00;G01L9/00 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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