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申请公布号 JP2766417(B2) 申请公布日期 1998.06.18
申请号 JP19920024145 申请日期 1992.02.10
申请人 MITSUBISHI MATERIARU KK;MITSUBISHI MATERIARU SHIRIKON KK 发明人 SAKAI SHINSUKE;OOHATA TAKANORI
分类号 C30B33/06;H01L21/02;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 C30B33/06
代理机构 代理人
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