| 摘要 |
Ingotzuchtvorrichtung, aufweisend: ein Tiegel, der eine Siliziumschmelze enthält; eine Ziehvorrichtung, die einen aus der Siliziumschmelze gezüchteten Siliziumeinkristallingot zieht; und eine Dotierstoffversorgungseinheit, die benachbart zu der Ziehvorrichtung angeordnet ist, zum Bereitstellen eines Dotierstoffes während des Züchtens des Ingots; wobei die Ziehvorrichtung eine Zuchtkeimspannvorrichtung aufweist, die einen Impfkristall hält, und die Dotierstoffversorgungseinheit mit der Zuchtkeimspannvorrichtung kombiniert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Dotierstoffversorgungseinheit eine Außenwand, die den Impfkristall umgibt, und einen Aufnahmeabschnitt, der sich von der Außenwand in Richtung einer Innenseite in einem vorherbestimmten Winkel erstreckt, aufweist und der Dotierstoff in dem Aufnahmeabschnitt aufgenommen ist. |
