| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung offenbart eine Sensorvorrichtung zur Detektion von Ionen oder Molekülen, mit einer ersten Elektrode, einer zweiten Elektrode, einem zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode angeordneten piezoelektrischen und ferroelektrischen Dielektrikum, einer Anregungsstruktur welche auf dem Dielektrikum angeordnet ist und ausgebildet ist, bei einer Anregung der Anregungsstruktur mit einer Wechselspannung, Oberflächenwellen zu erzeugen, und mit einer Aufnahmestruktur welche mit der Anregungsstruktur auf dem Dielektrikum angeordnet ist und ausgebildet ist, die von der Anregungsstruktur erzeugten Oberflächenwellen zu erfassen und als elektrische Spannung auszugeben wobei mindestens eine der Elektroden zumindest teilweise in der Anregungsstruktur und/oder der Aufnahmestruktur angeordnet ist. Dadurch ermöglicht es die vorliegende Erfindung, ein SAW-Verfahren und ein potentialsensitives Verfahren zu kombinieren. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung ein Sensorsystem und ein entsprechendes Verfahren. |
