高い品質係数をもたらす複数の相互結合メタライズ層を有するベクトルインダクタ

摘要

インダクタ構成部品は、複数の導電素子を含み、導電素子の各々は、導電材料からなる個別のパッチとして形成され、前記導電素子は、垂直なスタックに配置され、互いに密に結合される。誘電体は、より隣接した導電素子の間に配置され、前記誘電体は、誘電率を有し、隣接した前記導電素子の間に少なくとも半分以上の相互インダクタンス係数をもたらすように十分に薄い。誘電体は、隣接する導体よりも典型的に薄い。