PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND OPTICAL SYSTEM

摘要

Eine Projektionsbelichtungsanlage (1) ist mit einer Beleuchtungseinrichtung (3) und einem Projektionsobjektiv (7) versehen. Wenigstens ein optisches Element (10) ist mit einem eine Antriebseinrichtung (11) aufweisenden Manipulator versehen. Die Antriebseinrichtung (11) weist wenigstens ein bewegliches Teilelement (12) und wenigstens ein feststehendes Teilelement (13) auf, welche relativ zueinander in wenigstens einer Bewegungsrichtung beweglich sind. Die Antriebseinrichtung (11) ist als Direktantrieb derart ausgebildet, dass das optische Element (10) bis zu 1.000 µm mit einer Genauigkeit von 10nm in wenigstens zwei Freiheitsgraden verschiebbar ist.