发明名称 |
导电图案的形成方法、导电图案基板及触控式面板感测器 |
摘要 |
本发明的导电图案的形成方法包括:第一曝光步骤,对感光层图案状地照射活性光线,上述感光层包含设置于基板上的感光性树脂层、及设置于感光性树脂层的与基板侧的面相反侧的面上的导电膜;第二曝光步骤,于氧存在下,对感光层的至少第一曝光步骤中的未曝光部的一部分或全部照射活性光线;及显影步骤,于第二曝光步骤后对感光层进行显影,藉此形成导电图案。 |
申请公布号 |
TWI414007 |
申请公布日期 |
2013.11.01 |
申请号 |
TW101136523 |
申请日期 |
2012.10.03 |
申请人 |
日立化成股份有限公司 日本 |
发明人 |
山崎宏;五十岚由三 |
分类号 |
H01L21/28;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
日本 |