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经营范围
发明名称
METHOD AND DEVICE FOR THE PLASMA TREATMENT OF WORKPIECES
摘要
申请公布号
EP1507893(A1)
申请公布日期
2005.02.23
申请号
EP20030724885
申请日期
2003.05.09
申请人
SIG TECHNOLOGY LTD.
发明人
LITZENBERG, MICHAEL;LEWIN, FRANK;MUELLER, HARTWIG;VOGEL, KLAUS;ARNOLD, GREGOR;BEHLE, STEPHAN;LUETTRINGHAUS-HENKEL, ANDREAS;BICKER, MATTHIAS;KLEIN, JUERGEN
分类号
A61L2/14;B01J19/08;B05D7/24;B08B7/00;B08B9/42;B29C49/42;B65D23/02;B65G29/00;C03C17/00;C23C14/04;C23C14/50;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/511;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/54
主分类号
A61L2/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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