| 发明名称 | 曝光装置及元件制造方法 | ||
| 摘要 | 提供能掌握装置状态、防止液体流出或飞散的曝光装置。曝光装置(EX)具备：显示装置(D)，系显示以液体(LQ)充满曝光用光(EL)的光路空间(K1)时的进行状况、以及从光路空间(K1)去除液体(LQ)时的进行状况的至少一个。 | ||
| 申请公布号 | CN101002303A | 申请公布日期 | 2007.07.18 |
| 申请号 | CN200580027131.8 | 申请日期 | 2005.12.06 |
| 申请人 | 尼康股份有限公司 | 发明人 | 中川智晶 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 任默闻 |
| 主权项 | 1、一种曝光装置，透过液体使曝光用光照射于基板上，使该基板曝光，其特征在于，具备：显示装置，该显示装置用于显示将该液体充满该曝光用光的光路空间时的进行状况、以及从该光路空间回收该液体时的进行状况的至少一个。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||