发明名称 | 稀土掺杂铈酸锶纳米晶薄膜的制备方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种稀土掺杂铈酸锶纳米晶薄膜的制备方法,属无机薄膜材料制造技术领域。本发明主要采用有机聚合物前驱体法,本方法的特征在于:以硝酸亚铈、硝酸锶或醋酸锶、稀土氧化物为原料配制成一定浓度的初始溶液,三者的量比根据所制备的薄膜组成而定,薄膜组成为SrCe<SUB>1-x</SUB>RE<SUB>x</SUB>O<SUB>3</SUB>,其中x值的范围为0.02-0.20,初始溶液浓度为0.1-0.4mol/L;以乙二醇为络合剂,乙二醇加入量为金属离子总量的2-6倍;在搅拌或超声振荡下,并在50-100℃的水浴中加热;调节pH值,使该系统受热反应生成有机聚合物,待粘度到达100-300cP,在所要求的基片上以1500-3000rpm的转速用均胶机涂膜;红外干燥或真空干燥,再次涂膜,干燥,直至到达所需厚度;在900℃反应生成纳米晶薄膜。 | ||
申请公布号 | CN1584114A | 申请公布日期 | 2005.02.23 |
申请号 | CN200410025093.X | 申请日期 | 2004.06.11 |
申请人 | 上海大学 | 发明人 | 方建慧;朱冬冬;丁伟中;施利毅;沈霞 |
分类号 | C23C20/08;C30B29/22 | 主分类号 | C23C20/08 |
代理机构 | 上海上大专利事务所 | 代理人 | 顾勇华 |
主权项 | 1.一种稀土掺杂铈酸锶纳米晶薄膜的制备方法,主要采用有机聚合物前驱体法,其特征在于:以硝酸亚铈、硝酸锶或醋酸锶、稀土氧化物为原料配制成一定浓度的初始溶液,三者的量比根据所制备的薄膜组成而定,薄膜组成为SrCe1-xRExO3,其中x值的范围为0.02-0.20;初始溶液的浓度为0.1-0.4mol/L;以乙二醇为络合剂,加入量为金属离子总量的2-6倍;在搅拌或超声振荡下,并在50-100℃的水浴中加热;调节pH值为2-5,该系统受热反应生成有机聚合物,待粘度到达100-300cP,在所要求的基片上以1500-3000rpm的转速用均胶机涂膜5-15秒钟;在80-150℃下红外干燥或真空干燥15分钟;再次涂膜,干燥,直至到达所需厚度;在600-1100℃下反应2-8小时,制得纳米晶薄膜。 | ||
地址 | 200072上海市闸北区延长路149号 |