METHOD FOR RECORDING LOCAL RESIDUAL STRESSES IN SOLID OBJECTS USING AN ION BEAM TECHNIQUE

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erfassung lokaler Eigenspannungen in Festkörperobjekten, bei dem mit einem Ionenstrahl (12) eine Materialmanipulation am Festkörperobjekt (7) vorgenommen wird, die zu einer lokalen Umverteilung von Spannungs- und/oder Dehnungsverhältnissen im Festkörperobjekt (7) führt. Mit dem Ionenstrahl (12) wird hierbei eine Struktur (14) erzeugt, die in zumindest einer Dimension Abmessungen im Mikrometeroder Nanometerbereich aufweist. Vor und nach der Materialmanipulation werden mikroskopische Aufnahmen des von der Materialmanipulation betroffenen Oberlächenbereiches des Festkörperobjektes (7) gemacht. Aus einem Vergleich der Aufnahmen werden durch die Eigenspannungen verursachte Deformationsfelder an der Oberfläche (8) des Festkörperobjektes (7) bestimmt, aus denen die Eigenspannungen abgeleitet werden können. Das Verfahren ermöglicht eine genaue Bestimmung lokaler Eigenspannungen im Mikro- und Nanobereich.