复合故障机制的临界面积的确定方法

摘要

公开了一种基于独立和依存复合故障机制两者计算临界面积的方法。通过对复合机制中的各个简单故障机制产生由第三维z轴上的值代表在点x，y的各单一故障机制的临界缺陷尺寸的多边区域构成的图，计算该临界面积。为了识别相交的子区域，这些图被重叠并且各图的各个区域的平面(即，顶面)被投影到x，y面上。各子区域内的主导故障机制基于预定Boolean式的解被识别，并且，为了获得复合故障机制的总临界面积，所有的子区域的临界面积被累加。

主权项

1.一种集成电路设计中的复合故障机制的临界面积的确定方法，所述方法包括：产生多个图，其中，各个图代表所述复合故障机制内的多个故障机制中的一个并被分为多个区域；为了识别代表所述多个图的所述多个区域之间的交集的子区域，重叠所述多个图；确定所述子区域中的每一个中的主导故障机制，其中，所述主导故障机制是所述故障机制中的一个；和基于所述子区域中的每一个中的所述主导故障机制计算所述临界面积。