光学部件的评价装置和评价方法

摘要

一种光学部件评价装置，具有：保持单元，其具有能够保持应当在固定状态下保持的透镜和应当在可移动状态下保持的透镜的框；遮片，其具有第1透光孔和被配置成与该透光孔呈同心圆状的第2透光孔；光源，其对该遮片照射光束；CCD照相机，其对透过第1透光孔和第2透光孔的光束进行拍摄；运算处理部；移动单元。根据CCD照相机所拍摄的结果，运算处理部求出各光束的圆周的中心坐标，计算中心坐标间距离，由此计算透镜的移动量，移动单元根据该移动量，使透镜移动。

主权项

1.一种光学部件评价装置，具有：光束生成部，其生成多个光束；摄像装置，其被配置在接受来自上述光束生成部的光的位置上；保持部件，其被配置在比上述摄像装置更靠近上述光束生成部的一侧并保持光学部件；以及处理装置，其根据来自上述摄像装置的输出信息进行预定的处理，上述光束生成部至少具有第1区域组和第2区域组，上述第1区域组中的多个区域相互分离地位于第1预定线上，上述第2区域组中的多个区域相互分离地位于第2预定线上，上述第2区域组位于上述第1区域组的外侧，其特征在于：上述输出信息中包括第1输出信息和第2输出信息，上述第1输出信息是上述第1区域组的中心位置的信息，上述第2输出信息是上述第2区域组的中心位置的信息，上述第1区域组的中心位置的信息是根据上述第1区域组中的上述多个区域的全部的像而求出的信息，上述第2区域组的中心位置的信息是根据上述第2区域组中的上述多个区域的全部的像而求出的信息。