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Verfahren, welches aufweist: Modellieren von zwei Arten von Sensoren, die Teil einer Halbleitervorrichtung sind; und Bestimmen einer Temperatur und Spannung basierend auf Daten, die von den zwei Sensoren empfangen werden, wobei ein erster Sensor der zwei Sensoren einen ersten Ringoszillator mit einer Leckstromkomponente aufweist, wobei ein zweiter Sensor der zwei Sensoren einen zweiten Ringoszillator ohne eine Leckstromkomponente aufweist, wobei das Bestimmen das Verwenden eines kalibrierten ersten Modells, das den ersten Sensor darstellt, und eines kalibrierten zweiten Modells, das den zweiten Sensor darstellt, aufweist, wobei das erste Modell eine Abhängigkeit der Daten des ersten Sensors von der Temperatur und von der Spannung beschreibt, wobei das zweite Modell eine Abhängigkeit der Daten des zweiten Sensors von der Temperatur und von der Spannung beschreibt, wobei das erste Modell und das zweite Modell kreuzgekoppelt sind, wobei das Bestimmen das iterative Lösen der kreuzgekoppelten ersten und zweiten Modelle umfasst. |
