| 摘要 |
【課題】排気ガス流を処理する改善された技術を提供することにある。【解決手段】製造プロセスツールから排気ガス流を処理する本発明の放射バーナは、多孔スリーブを備えた燃焼チャンバを有し、燃焼物質が多孔スリーブを通って多孔スリーブの燃焼面に近接して燃焼し、多孔スリーブを包囲し、燃焼物質を多孔スリーブに供給するプレナムを有し、該プレナムは、多孔スリーブの長さに沿って変化する化学量論で燃焼物質を供給する。燃焼物質の化学量論比を変化させるこのアプローチは、多孔スリーブの長さに沿ってこれらの燃焼物質により発生される熱を対応して変化させる。燃焼物質の化学量論を変化させて多孔スリーブの長さに沿って燃焼チャンバ内に発生した熱の変化を補償することにより、燃焼チャンバ内の多孔スリーブの長さに沿って、より均一な温度を達成できる。【選択図】図１ |
