加速度センサ及び加速度センサの製造方法

摘要

本発明は、基板面を有する基板と、基板面に平行な第１方向（ｘ）において基板に対し相対的に移動可能な標本おもりとを備える加速度センサに関する。標本おもりは、標本おもりとともに移動可能な櫛型電極であって、第１方向（ｘ）に延びる複数の歯を有する櫛型電極を備える。加速度センサは、基板へ固定的に連結された対向電極をさらに備え、対向電極は、固定櫛型電極により構成され、固定櫛型電極は、第１方向（ｘ）とは反対の方向に延びる複数の歯を有する。可動櫛型電極の歯は、固定櫛型電極の歯と係合する。加速度センサは、基板へ固定的に連結されるシールド電極であって、標本おもりの偏位動作中における標本おもりの空気圧減衰を増大させるのに適したシールド電極をさらに備える。