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发明名称 USE OF STRONTIUM CARBONATE AS POLISHING AGENT FOR THE CHEMICAL AND MECHANICAL POLISHING OF MICROELECTRONIC COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP1459368(A1) 申请公布日期 2004.09.22
申请号 EP20020796629 申请日期 2002.12.13
申请人 SOLVAY BARIUM STRONTIUM GMBH 发明人 KOEHLER, KARL;HARDINGHAUS, FERDINAND;PARK, JAI-WON
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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