发明名称
摘要
申请公布号 JP3874842(B2) 申请公布日期 2007.01.31
申请号 JP19960161612 申请日期 1996.06.21
申请人 发明人
分类号 C04B41/88;H01L27/01;B81B1/00;B81C1/00;C04B41/91;C23C28/00 主分类号 C04B41/88
代理机构 代理人
主权项
地址