发明名称 半导体装置及用于其制造的方法
摘要 本发明涉及一种半导体装置(20),其包括带有集成的PN二极管的沟槽-MOS-势垒-肖特基-二极管,本发明还涉及用于其制造的方法。
申请公布号 CN101057340A 申请公布日期 2007.10.17
申请号 CN200580038217.0 申请日期 2005.09.13
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 阿尔弗雷德·格拉赫;宁·曲
分类号 H01L29/861(2006.01);H01L29/866(2006.01);H01L29/872(2006.01);H01L21/329(2006.01) 主分类号 H01L29/861(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 曾立
主权项 1.半导体装置(20,30),包括一个带有集成的PN二极管的沟槽-MOS-势垒-肖特基-二极管。
地址 德国斯图加特