具有不对称隔板误差的压差传感器

摘要

一种不对称设计的压差传感器包括一个测量装置，其具有第一体积V₁的第一半室，该第一半室由具有第一薄膜刚度E₁的第一薄膜封闭，以及第二体积V₂的第二半室，该第二半室由具有第二薄膜刚度E₂第二薄膜封闭，其中第一半室与第二半室通过压敏元件，特别是测量薄膜分开，并且第一半室被具有第一热膨胀系数α₁的第一传输液体充满，第二半室被具有第二热膨胀系数α₂的第二传输液体充满。为了与温度相关的隔膜压力误差dP对称，需要设计成这样，使得由第一薄膜刚度乘第一体积乘第一热膨胀系数的第一乘积基本上等于由第二薄膜刚度乘第二体积乘第二热膨胀系数的第二乘积(E₁*V₁*α₁＝E₂*V₂*α₂)，其中在设计上，第一乘积的至少一个系数不同于第二乘积的相应系数。

主权项

1.相对压力传感器或者压差传感器，包括：测量装置(1)，其具有第一体积的第一半室(4)，该第一半室由具有第一薄膜刚度的第一隔膜(2)封闭；以及第二体积的第二半室(5)，该第二半室由具有第二薄膜刚度的第二隔膜(3)封闭，其中第一半室(4)与第二半室(5)通过测量薄膜(7)分开，并且第一半室(4)充满具有第一热膨胀系数的第一传输液体，第二半室(5)充满具有第二热膨胀系数的第二传输液体，其特征在于，由第一薄膜刚度乘第一体积乘第一热膨胀系数的第一乘积基本等于由第二薄膜刚度乘第二体积乘第二热膨胀系数的第二乘积，其中在设计上，第一乘积的至少一个系数不同于第二乘积的相应系数。