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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1300877(A4) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 EP20020708712 申请日期 2002.03.28
申请人 OHMI, TADAHIRO;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 OHMI, TADAHIRO;HIRAYAMA, MASAKI;SUGAWA, S;GOTO, TETSUYA
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C16/50;C23C16/511;C30B25/10;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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