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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5653359(U)	申请公布日期	1981.05.11
申请号	JP19790134452U	申请日期	1979.10.01
申请人		发明人
分类号	H01L21/68;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
地址

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