发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02250381(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890070627 申请日期 1989.03.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGAI AKIRA
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L39/06 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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