发明名称
摘要
申请公布号 JPS5640489(B2) 申请公布日期 1981.09.21
申请号 JP19730143148 申请日期 1973.12.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/308;H01L21/306 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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