| 发明名称 |
DISPOSITIF DE LIMITATION ANGULAIRE DANS UN SYSTEME A FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES |
| 摘要 |
<P>LE DISPOSITIF DE L'INVENTION PERMET DE LIMITER L'OUVERTURE ANGULAIRE D'UN FAISCEAU DANS UN SYSTEME A FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES.</P><P>CE SYSTEME COMPREND UNE SOURCE 1 ET UN SYSTEME D'OPTIQUE ELECTRONIQUE 25 QUI PERMET LA PROJECTION DU FAISCEAU SUR UN PLAN CIBLE P. SELON L'INVENTION, UN DIAPHRAGME 12 DE LIMITATION ANGULAIRE DU FAISCEAU EST DISPOSE ENTRE LA SOURCE 1 ET LE SYSTEME D'OPTIQUE ELECTRONIQUE 25, LE COURANT UTILE DU FAISCEAU AU NIVEAU DU PLAN CIBLE ETANT SUPERIEUR AU MILLIEME DU COURANT EMIS PAR LA SOURCE 1.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT, AU MASQUAGE ELECTRONIQUE.</P>
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| 申请公布号 |
FR2513425(A1) |
申请公布日期 |
1983.03.25 |
| 申请号 |
FR19810017846 |
申请日期 |
1981.09.22 |
| 申请人 |
THOMSON CSF |
发明人 |
EMMANUEL DE CHAMBOST ET JACQUES TROTEL;TROTEL JACQUES |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/09;H01J37/30;(IPC1-7):G21K1/00;H01L21/26;H01L21/70 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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