发明名称 PATTERN FORMATION FOR DEVICE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6046551(A) 申请公布日期 1985.03.13
申请号 JP19840104861 申请日期 1984.05.25
申请人 AMERIKAN TEREFUON ANDO TEREGURAFU CO 发明人 HARORUDO JIEEN KUREIGUHETSUDO;RICHIYAADO EDOUIN HAWAADO;ROORENSU DEIBUITSUDO JIYATSUKURU;JIYONASAN KAATEISU HOWAITO
分类号 G03F7/20;G03C1/72;G03C5/08;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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