| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR CHEMICAL VAPOR PHASE GROWTH OF TANTALUM OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02250970(A) |
申请公布日期 |
1990.10.08 |
| 申请号 |
JP19890071206 |
申请日期 |
1989.03.22 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KAMIYAMA SATOSHI;YOSHIIE MASANOBU |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/92;H01L29/94 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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