| 主权项 |
1﹒一种阀(32.42)具有一第一晶片(18)及一第二晶片(2),该第一晶片中构制有一可变形膜片(34.44),该第二晶片黏合于第一晶片(18)上;一密封环(38,46)设于一晶片之表面上,并具有一自由表面能接触另一晶片之表面(阀关闭)或与其分开(阀打开),此视可双形膜片之位置而定,其特征在于:膜片部份设有至少一氧化物层(40.40a、40b),该氧化物层诱导产生一机械应变,以在无外来的影响下,保持该关(32.42)于关闭位置。2﹒如申请专利范围第1项所述之阀,其中由机器加工第一晶片(18)之膜片(34.44)而构制密封环(38.46)。3﹒如申请专利范围第1项所述之阀,其中膜片(44)之每面部份设有第一应变材料层(40a、40b)。4﹒如申请专利范围第1项所述之阀,其中第一晶片(18)为矽晶片。5﹒如申请专利范围第1或2项所述之阀,其中密封环(38,46)之自由表面由一层第二应变材料盖住,以防止该密封环黏着于相对于晶片之表面上。6﹒如申请专利范围第5项所述之阀,其中该第二应变材料与第一应变材料相同。7﹒如申请专利范围第3项所述之阀,其中该第二材料为氧化矽。图示简单说明图1显示本创作之微泵之概要断面图,图2显示图1所示之微泵之中间晶片之顶视图,图3A,3B,及3C显示本创作之阀之一实施例之断面图,及图4显示本创作之另一阀之断面图。 |
