发明名称 自表面移除小粒子的方法
摘要 一种自表面移除粒子之方法,其所包括之步骤为:提供其上具有粒子之表面5,置放该表面于流动之极性溶液3中及使所具波长为约170至约2000毫微米之光线照射在该等粒子上。该极性溶液之表面及光线可配置于一惰性周围。该表面及极性溶液中之粒子可予搅动。电极7可提供于极性溶液之外部藉以提供正电荷于该极性溶液中之粒子上面。此外并提供一种自表面移除粒子之方法,其所包括之方法为:提供一具有极性成分流动其中之容器1,定置一其上具有粒子之表面5于该流动的极性成分中,提供一与该表面为电绝缘之电极7及在该电极上提供正电荷。电极7可配置于容器1之外部。极性部分3最好为洁净的水。
申请公布号 TW226053 申请公布日期 1994.07.01
申请号 TW082106946 申请日期 1993.08.27
申请人 德州仪器公司 发明人 杜蒙特
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人 汪瑞民 台北巿敦化南路一段二四九号九楼;蔡中曾 台北巿敦化南路一段二四五号八楼
主权项 1﹒一种从表面移除粒子之方法,其包括之步骤为:(1)提供一某上具有粒子之表面;(2)将该表面定置于液体内;及(3)使所具波长为约170至2000毫微米之光线照射在该等粒子上。2﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中该液体为极性溶液。3﹒根据申请专利范围第2项之方法,其中该极性溶液系在该表面上流动。4﹒根据申请专利范围第2项之方法,其中该极性溶液为洁净的水。5﹒根据申请专利范围第3项之方法,其中该极性溶液为洁净的水。6﹒根据申请专利范围第2项之方法,另外包括有配置该极性溶液之表面及该光线于一惰性周围内。7﹒根据申请专利范围第3项之方法,另外包括有配置该极性溶液之表而及该光线于一惰性周圈内。8﹒根据申请专利范围第4项之方法,另外包括有配置该极性溶液之表面及该光线于一惰性周围内。9﹒根据申请专利范围第5项之方法,另外包括有配置该极性溶液之表面及该光线于一惰性周围内。10﹒根据申请专利范围第2项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液内粒子之步骤。11﹒根据申请专利范围第3项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液中粒子之步骤。12﹒根据申请专利范围第4项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液中粒子之步骤。13﹒根据申请专利范围第5项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液中粒子之步骤。14﹒根据申请专利范围第6项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液中粒子之步骤。15﹒根据申请专利范围第7项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液中粒子之步骤。16﹒根据申请专利范围第8项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液中该等粒子之步骤。17﹒根据申请专利范围第9项之方法,另外包括有搅动该表面及该极性溶液中粒子之步骤。18﹒根据申请专利范围第2项之方法,另外包括有在该极性溶液的外部提供一电极以便可在该极性溶液中之粒子上提供正电荷。19﹒根据申请专利范围第3项之方法,另外包括有在该极性溶液的外部提供一电极以便可在该极性溶液中之粒子上提供正电荷。20﹒根据申请专利范围第9项之方法,另外包括有在该极性榕液的外部提供一电极以便可在该极性溶液中之粒子上提供正电荷。21﹒根据申请专利范围第17项之方法,另外包括有在该极佳溶液的外部提供一电极以便可在该极性溶液中之粒子上提供正电荷22﹒一种自表面移除粒子之方法,其包括之步骤为:(1)提供一在其内具有流动液体成分之容器;(2)定置一某上具有粒子之表面于该流动成分内;(3)提供一与该表面为电绝缘之电极;及(4)提供该电极上正电荷。23﹒根据申请专利范围第22项之方法,其中该液体成分为极性成分。24﹒根据申请专利范围第23项之方法,其中该电极系配置在该容器之外部。25﹒根据申请专利范围第23项之方法,其中该极性成分为洁净的水。图示简单说明:第一图为与本发明之第一实施例连合使用之装置的简要图;而第二图为与本发明之第二实施例连合使用之装置的简要图
地址 美国
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