近红外镀膜

摘要

本发明提供二种近红外波域光学穿透窗，使近红外光完全透射，同时使可见光完全被阻挡。这二种近红外波域光学穿透窗分别为近红外波域穿透的截止滤镜和近红外波域穿透的窄带滤镜。这二种光学穿透窗都是利用叠加原理所组成。如近红外波域穿透的截止滤镜叠加近红外波域抗反射镀膜组成高穿透率( >98% ) 的近红外波域 ( 860 - 1480nm ) 穿过的截止滤镜。又如近红外波域穿透的截止滤镜叠加短波通过滤镜组成近红外波域穿透的窄带滤镜。而这些滤镜都是利用 PECVD 的方法将低折射率的非晶氮化矽（ a-SiNx：H ）和高折射率的非晶矽（ a-Si：H ）交互沈积在 Corning 7059玻璃上所构成。其中 a-SiNx：H在 400-1600nm 波域完全透明，而 a-Si：H在可见光区会吸收。这种 a-SiNx：H／a-Si：H 多层膜所组成的近红外波域光学穿透窗表面很平整，具有很好的耐环境稳定性，不易受大气中的湿和热的影响，而且层与层间和层与基板间的附着力极强，不会有脱落或剥离的现象发生。

主权项

1.一种近红外波域穿透的载止滤光镜,该截止滤光镜包括:一基板,其于可见光及近红外波域完全透明;一低折射率膜层,其系由可让可见光和近红外光穿透之物质中所选出者;以及一高折射率膜层,其系由可让近红外光穿透而吸收可见光之物质中所选出者;其中,该低折射率膜层及该高折射率膜层系以不同厚度交互沈积于该基板上,形成以供近红外光近乎完全穿透,并阻挡可见光穿透之少于20层以下的叠积层,以形成该截止滤光镜。2.根据申请专利范围第1项之截止滤光镜,其中该低折射率物质为非晶氮化矽(a-SiNx:H),在波长500nm处之折射率为1.82。3.根据申请专利范围第1项之截止滤光镜,其中该高折射率物质为非晶矽(a-Si:H),在波长500nm处之折射率为3.62-0.3i。4.根据申请专利范围第1项之截止滤光镜,其中该基板为Corning 7059玻璃或石英。5.根据申请专利范围第1项之截止滤光镜,其系以PECVD制程所制成者。6.一种含近红外波域抗反射膜之近红外波城穿透的截止滤光镜,主要系于设有近红外彼域穿透的截止滤光镜之基材的另一面,设置供近红外光近乎完全穿透的抗反射膜,该抗反射膜包括:一基板,其于可见光及近红外波域完全透明;一低折射率膜层,其系由可让可见光和近红外光穿透之物质中所选出者;以及一高折射率膜层,其系由可让近红外光穿透而吸收可见光之物质中所选出者;其中,该低折射率膜层及该高折射率膜层系交互沈积于该基板上供近红外光近乎完全穿透以形成该抗反射膜。7.根据申请专利范围第6项之抗反射膜,其中该低折射率物质为非晶氮化矽(a-SiN: H),在波长500nm处之折射率为1.82。8.根据申请专利范围第6项之抗反射膜,其中该高折射率物质为非晶矽(a-Si:H),在波长500nm处之折射率为3.62-0.3i。9.根据申请专利范围第6项之抗反射膜,其中该基板为Corning 7059玻璃或石英。10.根据申请专利范围第6项之抗反射膜,其中系以PECVD制程所制成者。11.一种近红外波域穿透之光学装置,用以供近红外光近乎完全穿透并且阻挡可见光之穿透,该光学装置系以一与基板折射率相同之玻璃胶将根据申请专利范围第1项之截止滤光镜之基板与根据申请专利范围第6项之抗反射膜之基板背对背胶合而成者。12.一种近红外波域穿透之窄带滤光镜,用以供某一特定范围内之近红外光近乎完全穿透并且阻挡该范围以外之光,该窄带减光镜系由下列二滤镜叠合而成:一可让近红外光穿透之截止滤镜,其系包含非晶矽/非晶氮化矽多层膜以供长波通过,其系设于基板的一面;以及一可让短波的近红外光穿透之滤镜,其系包含非晶氮化矽/非晶矽多层膜,以供短波通过,其系设于基板的另一面;其中,该窄带滤光镜中所欲通过之近红外光波域系由调整长波通过之