| 摘要 |
입사하는 광을 반사하는 다층막 반사 미러로서, 기판과, 기판의 표면에 Mo층 및 Si층을 교대로 적층하여 형성된 제 1 다층막과, 제 1 다층막 상에 형성되고, 제 1 다층막에 대해 박리 가능한 박리층과, 박리층 상에 Mo층 및 Si층을 교대로 적층하여 형성된 제 2 다층막을 구비하며, 제 2 다층막은, 박리층을 산에 의한 용해에 의해 박리하는 것에 의해 박리층과 함께 제거 가능하다. 다층막 반사 미러의 반사율이 저하한 경우에, 간단한 공정으로 그 반사율을 높게 할 수 있다. |
