电晶体制造

摘要

本发明描述了一种制造一源闸极电晶体之方法，其中在基板2上提供一闸极4，接着提供闸极绝缘体6及半导体层8。使用光阻12及穿过以该闸极4充当一光罩之该基板2之后照明图案化该层，以使源极与该闸极4对准。使用一间隔片技术亦可使在源极与汲极之间的距离自行对准。