SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MEMORY USING THE SAME, CMOS SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT, AND PROCESS FOR FABRICATING THE SEMICONDUCTOR DEVICE

摘要

Dispositif à semi-conducteur comportant une porte en silicium ferroélectrique ou polycristallin sur laquelle on forme un film résistant à l'humidité faisant barrière à l'hydrogène, tel qu'un film de TiN ou TiON, grâce à un procédé filmogène ne provoquant pas de dégagement d'hydrogène.