主权项 |
1.一种表面波装置,其所用的是一种源自于一压电基质上传播之表面波且其主位移系垂直于该表面波之传播方向的SH-型表面波,此装置包括有:一压电基质;至少一形成于该压电基质上的数位中间换能器;以及某种凝胶状或邵氏硬度不高于30的树脂层,其在设置上系至少要将该数位中间换能器覆盖住。2.如申请专利范围第1项之表面波装置,其中有绝缘粉末加入该树脂层内,且系分散于其中。3.如申请专利范围第1项之表面波装置,其中该表面波装置系一端表面反射型表面波共振器。4.如申请专利范围第1项之表面波装置,其中该SH-型表面波系一种BGS波。5.如申请专利范围第1项之表面波装置,其中:在位于该压电基质存在于该表面波之传播方向上之该等端表面之中央高度附近的位置形成外伸的阶部,而在此等阶部下方之端表面部分系形成为较该等阶部上方之端表面部分有粗糙的表面,而该树脂层在形成上则要能将该压电基质之上表面和该等阶部上方之端表面部分覆盖住。6.如申请专利范围第5项之表面波装置,其中该表面波装置系一种端表面反射型表面波共振器。7.如申请专利范围第5项之表面波装置,其中该SH-型表面波系一种BGS波。8.一种制造使用SH-型表面波之表面波装置的方法,包括之步骤有:制备一压电主基质;形成深及该压电主基质之中央位置且系位于可将该压电主基质分割成各个表面波装置之边界的槽纹;将树脂涂敷在该压电主基质之上表面,使此树脂覆盖在该压电主基质之上表面和该等槽纹之内部,并使此树脂熟化,而形成一树脂层;以及沿该等槽纹将该压电主基质分割成该等表面波装置。 |