摘要 |
以轴方向包含单晶锭中心轴的方式切断矽单晶锭,使其成为含有领域〔V〕、领域〔Pv〕、领域〔Pi〕、领域〔I〕的测试用样本,再将其分割为2,使其对中心轴成对称,而制作第1及第2样本。第1样本表面以第1迁移金属予以金属污染,第2样本表面以跟第1迁移金属不同的第2迁移金属予以金属污染。将被金属污染的第1及第2样本加以热处理,使第1及第2迁移金属扩散至样本内部。分别测试第1及第2样本整体的再结合寿命(lifetime),将第1样本的垂直方向的测试值重叠在第2样本的垂直方向的测试值。从重叠的结果,分别规定领域〔Pi〕与领域〔I〕的境界及领域〔V〕与领域〔Pv〕的境界。 |