发明名称 VAPORIZER FOR ION PLATING
摘要
申请公布号 JPH01168860(A) 申请公布日期 1989.07.04
申请号 JP19870315188 申请日期 1987.12.15
申请人 KAWASAKI STEEL CORP;ULVAC CORP 发明人 IGUCHI MASAO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址