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经营范围
发明名称
METHOD AND DEVICE FOR CLEANING BONDING TOOL OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04111329(A)
申请公布日期
1992.04.13
申请号
JP19900227997
申请日期
1990.08.31
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KASHIMA NORIYASU;SUEMATSU MUTSUMI;OKANO KEITARO
分类号
B24B7/16;H01L21/60
主分类号
B24B7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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