发明名称 MANUFACTURE OF FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH04300124(A) 申请公布日期 1992.10.23
申请号 JP19910046138 申请日期 1991.02.19
申请人 CHISSO CORP 发明人 TAKAHASHI AKIO;FURUKAWA HIDENORI;TOKUNAGA SHIGENORI
分类号 B23P15/00;H01L21/60 主分类号 B23P15/00
代理机构 代理人
主权项
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