发明名称 (A) ;RADIO COMMUNICATION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0775154(B2) 申请公布日期 1995.08.09
申请号 JP19900268651 申请日期 1990.10.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/48;H01J27/02;H01J37/05;H01J37/08;H01J49/10;H01J49/28;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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