ケイ素ナノワイヤー及び／又はナノベルトの大量生産方法、並びに、ケイ素ナノワイヤー及び／又はナノベルトを用いたリチウム電池及びアノード

摘要

【課題】ケイ素ナノワイヤー及び／又はナノベルトの実用的な製造方法の提供を課題とする。【解決手段】本発明は、ケイ素ナノワイヤー及び／又はナノベルトの大量生産方法を提供する。本方法は、シリコン相にわたり、多相ケイ素合金から他の相を選択的にエッチングし且つ除去するエッチング液を用いた化学的エッチングプロセスであって、残ったケイ素ナノワイヤー及び／又はナノベルトを得ることを可能とする。ケイ素合金は、エッチング前に多相ケイ素合金の微細構造中に１次元及び／又は２次元ケイ素微細構造を含むか、又は含むように処理される。リチウム二次電池用のアノードとして使用される場合、本方法によって製造されたケイ素ナノワイヤー又はナノベルトは、高い蓄電容量を示す。【選択図】図５