开口状态的检测方法

摘要

一种开口状态的检测方法，此方法系先提供基底。接着，于基底上形成介电层后，在一电浆蚀刻机台中，蚀刻、介电层以形成开口。然后，在此电浆蚀刻机台中，通入一气体，以于开口内形成高分子层(保护层)。之后，进行浸渍步骤，使基底与介电层之界面显现出来，并检测开口之状态。