| 摘要 |
一种可容纳喷洒头之热膨胀之设备。在本发明之一第一组态中，藉由将该喷洒头边缘安置在一支架上，以能够移动之方式支撑该喷洒头。在一第二组态中，该喷洒头系藉由复数个挂钩悬吊在该反应室壁上，该复数挂钩系藉由可以在狭缝中滑动之销连结该喷洒头、该反应室壁、或两者，以使该等挂钩可以径向滑动以容纳该喷洒头在径向上之热膨胀。在一第三组态中，该喷洒头系藉由复数个支杆或挠性线悬吊在该真空反应室壁上。在一第四组态中，该喷洒头系在接近其周边处连结热膨胀系数比该喷洒头大之第二材料。在一第五组态中，一加热器系经安装在该喷洒头后方，以降低该喷洒头上表面及下表面间之温度差异或是减少从该工作件至该喷洒头之热传输。 |
